Термин MEMS означает Micro-Electro-Mechanical Systems (микроэлектромеханические системы или, на русском, сокращенно МЭМС). MEMS — это комбинация устройств микрометрового размера, состоящих как из электронных компонентов, так и из механических движущихся частей. Это миниатюрные машины микроскопического масштаба, то есть физические размеры MEMS могут быть от … Читать далее








